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堅膜烘箱，氮?dú)鈭阅た鞠涞淖饔檬窃谝欢ǖ臏囟认?對顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
塑封固化專用潔凈烘箱采用自動加熱的方式對其進(jìn)行保溫固化，固化溫度維持在 175℃，固化時間為 8 小時。塑封固化的主要作用是消除塑封料內(nèi)部的應(yīng)力。
百級三箱潔凈烤箱，高溫潔凈烘箱定制應(yīng)用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、治具干燥、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
潔凈烤箱報價：烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動停電及電路，控制可靠，使用安全。是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。
百級無塵烤箱，100級潔凈烤箱適用于IC可靠性試驗(yàn)，IC封裝，光刻膠固化，電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
非標(biāo)無塵無氧烘箱，黃光區(qū)潔凈烤箱應(yīng)用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).
