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真空烤箱 可程式真空箱 自動真空烘箱專為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計，能夠向內(nèi)部充入惰性氣體，特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進(jìn)行快速干燥。

氮氣潔凈烘箱 光刻膠無塵烘箱 百級烘箱 適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研.

堅膜烘箱 百級潔凈烘箱 氮氣無塵烘箱是通過加溫烘烤使膠膜更加牢固的粘附在晶圓表面，并可以增加膠層的抗刻蝕能力的一道光刻膠工藝。

六箱體氮氣烘箱，多倉式潔凈烘箱選配功能： 輔助降溫：水冷、風(fēng)冷降溫 操作界面：人機(jī)界面+PLC,工控電腦 錄入信息：掃碼槍 監(jiān)測功能：氧含量分析儀等

精密高溫?zé)岚?，掩膜版加熱臺采用高性能電熱管加熱，升溫快，熱效率高，使用壽命更長，維護(hù)簡單；

潔凈無氧烘箱，氮氣無氧 烘箱用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。

后曝光氮氣烘箱，PEB無塵烘箱所使用的高溫（100-130°C）會使光敏化合物擴(kuò)散，從而消除駐波波紋.百級潔凈度無塵化，專用于半導(dǎo)體，集成電路。