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前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學吸收特性，提高光刻膠對襯底的黏附性

集成電路封裝專用氮氣烘箱用于集成電路封裝中的前道裝片固化烘烤、后道塑封固化烘烤。

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class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內(nèi)置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運行方式：定值、程式，中、英文操作。

全不銹鋼潔凈烘箱，高溫潔凈 烘箱定做潔凈度class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

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