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恒溫?zé)岚?,精密熱?干燥設(shè)備

恒溫?zé)岚澹軣岚?干燥設(shè)備

簡要描述:

恒溫?zé)岚?,精密熱板適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

恒溫?zé)岚?,精密熱?/strong>概述:

  精密熱板用于固化光刻膠,固化環(huán)氧塑脂,掩膜版烘烤,柔性線路檢測,穿戴技術(shù)傳感器校準(zhǔn),可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。適用于半導(dǎo)體光刻工藝的前烘和堅(jiān)膜、電路模塊的涂敷燒結(jié)和考核等工藝。

精密熱板特點(diǎn)

結(jié)構(gòu)小巧,精度高;

升溫迅速穩(wěn)定可靠;

透明窗便于觀察。

恒溫?zé)岚澹軣岚?/strong>技術(shù)參數(shù)

整體外形尺寸:以加熱面尺寸而定

加熱面積尺寸:160*160/220*220/350*350定制尺寸

溫度分辨率 :0.1℃  

溫度波動度:±0.5℃      

溫度均勻性:±0.5%℃

電源輸入:AC220V 50HZ        

加熱功率:800W

溫度范圍:RT+5-200/350/450/600℃      

加熱面板材料:陽極鋁合金/陶瓷/特種不銹鋼

可定制功能:真空/PIN/充氮/程序烘烤等

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智能型HMDS預(yù)處理系統(tǒng),HMDS烤箱,無塵無氧烘箱,高溫?zé)o氧烘箱,PI烘箱,BCB烤箱,LCP纖維烘箱。


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