1 工作室尺寸

 自定義

2  材質(zhì)

 外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼，內(nèi)箱采用SUS304不銹鋼

3 溫度范圍

 RT+10-200、450℃

4 溫度分辨率

 0.1℃

5 溫度波動(dòng)度

 ＜±1℃

6 溫度均勻度

 ≤±2%

7 潔凈度

 class 100，設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境

8電源

 AC 380V±10% / 50HZ         

9 升溫時(shí)間

 5-8℃/min，

10降溫時(shí)間

 可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min

11氧含量

(配氧含量分析儀）

 高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
 低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

12 數(shù)據(jù)輸出

溫度和氧含量記錄

 13提示功能

三色燈

超溫提示

熱電偶故障提示

低水壓提示

 14安保功能

短路保護(hù)

漏電保護(hù)

超溫保護(hù)，獨(dú)立感溫式超溫保護(hù)器

電機(jī)保護(hù)，電機(jī)過(guò)電流、水冷保護(hù)

電磁門禁保護(hù)，當(dāng)溫度超過(guò)100℃，電子鎖自動(dòng)鎖緊，防止高溫開(kāi)門