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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
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掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變?yōu)槭杷裕鰪姳砻娴酿じ叫裕℉MDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預處理烘箱
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HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等

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HMDS真空系統(tǒng) HMDS預處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱
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HMDS真空系統(tǒng) HMDS預處理系統(tǒng) 圖像反轉(zhuǎn)烘箱可快速、均勻、經(jīng)濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

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HMDS烘箱  圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) HMDS涂膠機
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HMDS烘箱 圖像反轉(zhuǎn)系統(tǒng) HMDS涂膠機使用HMDS(六甲基二硅氮烷)對晶圓表面進行快速、均勻、經(jīng)濟高效的涂布,以提高光刻膠的附著力。這些多功能系統(tǒng)還支持圖像反轉(zhuǎn),形成具有與正光刻膠相同的分辨率和易用性的負圖像。

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光刻膠HMDS烘箱  HMDS疏水處理烘箱
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光刻膠HMDS烘箱 HMDS疏水處理烘箱應用多晶硅,石英,太陽能電池片、金屬、貴金屬、藍寶石、SiC(碳化硅)、磷化銦、GaN(氮化鎵)、ZnO(氧化鋅)、GaO(氧化鎵)、金剛石等第三代半導體材料。

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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無油泵
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HMDS烘箱專用真空泵,HMDS系統(tǒng)無油泵較小的噪音 - 一臺干泵卻擁有較好的真空度,較大的抽速 - 停機時間短,維護成本更低

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HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱
HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱

HMDS疏水烘箱,HMD真空烘箱是涂膠前對硅片表面進行處理,可以增加硅片表面水分子的接觸角,使襯底表面從親水性轉(zhuǎn)化為疏水性

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