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HMDS真空烘箱,hmds涂膠烘箱
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HMDS真空烘箱,HMDS鍍膜烘箱
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增粘劑烤箱,HMDS烘箱
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增粘劑烤箱,HMDS烘箱將HMDS涂到LED、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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hmds真空鍍膜機,光刻hmds鍍膜烤箱
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HMDS鍍膜機,黃光區(qū)鍍膜設(shè)備
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HMDS鍍膜機,黃光區(qū)鍍膜設(shè)備通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS烘箱,中國臺灣hmds烤箱 電子行業(yè)專用儀器
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硅片HMDS涂布機臺,4寸Wafer hmds烤箱
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硅片HMDS涂布機臺,4寸Wafer hmds烤箱是將 HMDS 涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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