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無塵烤箱 烘箱設(shè)備

無塵烤箱 烘箱設(shè)備

簡要描述:

無塵烘箱,不銹鋼無塵烤箱無塵等級:Class 100、10; 溫度范圍:RT+10~300℃;用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤

無塵烤箱特點

1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵;
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng),風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器,將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部,且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱,省電節(jié)能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),優(yōu)良的溫度控制精度。

無塵烤箱應(yīng)用

用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

技術(shù)指標(biāo)

無塵等級:Class 100、10;     

溫度范圍:RT+10~300℃;

溫度均勻度:±2℃;    

溫度波動度:±0.5℃(空載)        

溫控精度:±0.1℃;        

工作室尺寸:W1600×D1600×H1000(mm)  (可定做)   

電源:380v , 50Hz,6KW    

網(wǎng)板:2塊(高度可調(diào)節(jié))

維護(hù)保養(yǎng)

1. 檢查通風(fēng)口是否堵塞,并清理積塵。

2. 風(fēng)機(jī)運轉(zhuǎn)是否正常。

3. 維修工檢查電流是否正常。

4. 檢查溫控器是否準(zhǔn)確,如不準(zhǔn)確,請調(diào)整溫控器的靜態(tài)補(bǔ)償或傳感器修正值。

5. 檢查發(fā)熱管有無損壞,線路是否老化。

6. 檢查延時器是否準(zhǔn)確,誤差是否允許。

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